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FCVD係統

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如果您對該產品感興趣的話,可以 產品名稱: FCVD係統
產品型號: FCVD
產品展商: Arnold
關注指數:3446
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簡單介紹

通用玻璃車床,自動化氣體供應和混合係統,Restoxyd室控製內部壓力,MCVD車床上可安裝的感應電爐,成為FCVD係統感應電爐移動架。 MCVD係統用的噴燈可通過快速接頭拆卸,感應電爐移動架可方便將感應電爐移入設備中間安裝位置。成為FCVD係統。

FCVD係統

   的詳細介紹

德國ARNODLD自光纖發展以來總是提供MCVD和PCVD基礎車床,比如: SEL, Stuttgart; IPHT; Philips, Eindhoven; Schott, Mainz; 從事獨立研發過程,2005年收購HEATHWAY公司,並與LOGITEX公司合作,樱桃视频黄ABB現在可為研發過程提供完整的不鏽鋼氣櫃係統和光纖拉絲塔。
通用玻璃車床,自動化氣體供應和混合係統,Restoxyd室控製內部壓力,MCVD車床上可安裝的感應電爐,成為FCVD係統感應電爐移動架。
MCVD係統用的噴燈可通過快速接頭拆卸,感應電爐移動架可方便將感應電爐移入設備中間安裝位置。成為FCVD係統。

MFC質量流量計規格:
數字ProfiBus MFC
典型精度:   ±1%,設定點為20~100% 滿量程 
典型精度:   ±0.2%,為2~20% 滿量程
重複性:    ± 0.3% 讀數
分辨率:  0.1%滿量程
工作溫度: 10°C ~ 50°C (環境)

FCVD係統中氣體濃度測量係統: (另選)
3個“Lorex” 氣體傳感器,測量SiCl4, GeCL4, POCl3液氣摻雜物。
通常樱桃视频黄ABB測量重量:xx mg/min 液氣(PoCl3, GeCl3, SiCl4)在載氣(氧氣)中重量。但你也可以計算體積和百分比。
氣體濃度傳感器/輸送控製係統 可重現蒸氣輸送控製的行業標準。氣體濃度傳感器已成為半導體製造行業的行業標準,可用於在 CVD 和 MOCVD 工藝流程中,高精度監控前體化學蒸氣和摻雜氣體,從而實現可重現的輸送控製。經生產驗證該係統能為您提供:通過嚴格控製製程氣體和前體化學蒸氣的輸送,提高工藝的可重現性和良率。通過更高效地利用前體化學品、更充分地利用前體化學源、降低氣體流向排氣口的時間,從而降低工序成本。通過獲取設備和工藝工程師可直接讀取的定量信息,設備間的匹配更為簡便。通過內置診斷工具,為氣體和蒸氣輸送係統的故障排除提供幫助。
氣體濃度測量係統
改進過程重複性
增加產量
低成本操作
使得工具-工具匹配方便
方便錯誤診斷,優化氣體傳送係統

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